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質量流量控制器

簡要描述:

質量流量控制器是控制和測量氣體流量的儀器,它們在各種工業應用中都非常關鍵。MC標準系列設計旨在提供響應式的氣體流量控制并抑制壓力波動。MCR大流量系列質量流量控制器是設計用于處理較大氣體流量的儀器,具備多項功能和特性以滿足工業上對氣體流量控制的需求。MCW/MCRW低壓損系列設計的低壓損性能使得在氣體流動過程中,壓力損失減小

更新時間:2024-02-29

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  質量流量控制器是控制和測量氣體流量的儀器,它們在各種工業應用中都非常關鍵。
 

質量流量控制器

 

  以下是一些大家經常選購的系列:
 
  1 、MC標準系列
 
  其設計旨在提供響應式的氣體流量控制并抑制壓力波動。以下是一些特點:
 
  .高精度控制:能夠控制氣體的流量,確保流量保持在用戶設定值內。這對于需要氣體流量控制的實驗或工業應用很重要。
 
  .穩定性能:該系列控制器性能穩定,能夠有效抑制因壓力波動導致的影響。
 
  .無需溫度壓力補償:與某些流量計不同,測量值不會因溫度或壓力的波動而失準,因此不需要進行溫度壓力補償,這是由于它們可直接測量通過傳感器的質量流量。
 
  .廣泛應用:適用于多種氣體,并且在不同的工業和科研領域中都有廣泛的應用,如半導體制造、化學氣相沉積、燃燒系統等。
 
  .可定制性:根據不同的應用需求,可提供定制化的選項,以滿足特定的操作條件和性能要求。
 
  .用戶界面友好:配備直觀的用戶界面,使得設置和調整流量參數變得簡單快捷。
 
  .安全性:具備必要的安全特性,以確保在各種操作條件下的安全使用。
 

MC標準系列

 

  2、MCR大流量系列
 
  MCR大流量系列質量流量控制器是設計用于處理較大氣體流量的儀器,具備多項功能和特性以滿足工業上對氣體流量控制的需求。以下是一些詳細介紹:
 
  . 適用多種標準工況:能夠在不同標準溫度和壓力下工作,提供三種工況供切換,允許用戶根據實際應用需求選擇合適的工作環境。
 
  . 快速響應:整合了快速響應的比例調節閥與優化的PID控制,能夠實現控制響應時間,這對于需要迅速調整流量的工藝來說非常關鍵。
 
  . 適應性高:無論是在高溫還是低溫環境下,MCR系列都能保持穩定工作。
 
  . 濕度適應范圍廣:這些控制器可在廣泛的工作濕度范圍內運行而不會發生冷凝,讓在不同濕度條件下設備的正常運行。
 

MCR大流量系列

 

  3、MCW/MCRW低壓損系列的特點如下:
 
  . 低壓損設計:這些控制器設計的低壓損性能使得在氣體流動過程中,壓力損失減小,這對于保持系統的整體效率和成本效益較為重要。
 
  . 層流差壓式原理:產品采用層流差壓式原理,這是一種通過測量流體流過傳感器時產生的壓力差來確定流量的方法,能夠實現流量控制和測量。
 
  . 多樣化應用:適用于多種行業,包括實驗科研、環境保護、生物醫藥、過程控制、能源化工、半導體等,顯示出它們的多功能性和適應性。
 
  . 兼容性:設計兼容多種類型的氣體和應用,確保了在不同的操作條件下均能保持良好的工作性能。
 

MCW/MCRW低壓損系列

 

  4、MCS/MCRS耐腐蝕系列
 
  MCS/MCRS系列耐腐蝕系列是專為處理腐蝕性氣體而設計的高精度設備。以下是詳細介紹:
 
  . 響應速度: MCS/MCRS系列在通電后毫秒內即可響應,可以快速達到并保持設定值,滿足對快速控制有要求的應用場合。
 
  . 多變量數據: 用戶能夠以選擇的工程單位控制質量流量、體積流量或壓力,并且設備能顯示瞬時流量、壓力和溫度讀數,方便監控和調整過程參數。
 
  . 易于集成: 設計考慮了與其他系統的集成需求,使得這些控制器能夠輕松地適配到現有的工業或科研系統中。
 
  . 穩定性: 除了快速響應外,MCS/MCRS系列還能夠穩定地控制目標氣體的流量。
 
  . 材料: 設備的接液部分使用耐腐蝕材料制成,能夠抵抗氣體腐蝕,延長使用壽命。
 

MCS/MCRS耐腐蝕系列

 

  5、MCE/MCV半導體行業系列
 
  MCE/MCV半導體行業系特別適用于半導體行業的真空應用。
 
  MCE系列主要針對低真空應用;
 

MCE系列

 

  MCV系列則適用于高真空應用;
 

MCV系列

 

  以下是詳細介紹:
 
  . 多變量測量與控制:這些控制器能夠同時測量和控制多個變量,如質量流量、體積流量、壓力和溫度,提供過程監控。
 
  . 多種氣體標定:MCE/MCV系列支持多種氣體的標定,這意味著它們可以在不同的氣體環境下保持流量控制。
 
  . 量程可調比:這些控制器具備量程可調比,使得一臺設備就能覆蓋廣泛的應用范圍,從而減少了對多臺設備的依賴。
 
  . 快速響應:MCE/MCV系列在控制響應速度上與其標準質量流量控制器一樣快,這對于需要迅速調整流量的半導體工藝很重要。
 
  . 緊密聯系:MCV和MCE系列在設計上緊密相關,采用的技術和應用特性相輔相成,為不同真空條件下的應用提供了解決方案。

質量流量控制器

 


 
  性能參數:

指標

MFC

量程

0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數±0.2%滿量程)

重復性

±0.2%

量程比

200:1

響應時間

100ms

標準狀態(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度范圍

-10~50

零點漂移

0.02%

量程漂移

0.02%

濕度范圍

0-100%

測量流量范圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出信號(數字)

質量流量、體積流量、壓力和溫度

數字信號可選

RS485,Modbus,Profibus

輸出信號(模擬)

質量流量、體積流量、壓力和溫度

模擬信號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

電氣連接

8針/9針/15針(根據不同類型流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A)

 

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